真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
真空絶縁破壊電圧に対するスパッタリング薄膜の効果
小林 信一, 孫 大雄
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1990 年 33 巻 3 号 p. 346-348

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