真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
レーザスパッタリング法により形成した誘電体膜の構造
田中 邦生, 西川 幸男, 吉田 善一, 大西 陽一, 池田 種次郎
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1990 年 33 巻 3 号 p. 349-351

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