真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
13mφスペースチャンバの真空排気システム
中村 安雄, 長友 克明, 染矢 和夫, 北山 尚男
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1990 年 33 巻 9 号 p. 738-746

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