真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
炭化チタン陰極を用いた真空アークイオン源によるチタン+炭素の同時イオン注入
佐々木 純, 杉山 賢司, 市古 修身
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1993 年 36 巻 2 号 p. 100-103

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