真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
新素材・新物質薄膜作製装置に関する現状
酸化物薄膜作製装置と結晶制御技術を中心として
鈴木 康正, 深沢 博之, 根岸 敏夫
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1993 年 36 巻 2 号 p. 93-99

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