真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
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磁石内蔵形冷陰極逆マグネトロン真空計の最適化
麻蒔 立男八木原 美奈増井 典明三浦 勉
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2001 年 44 巻 2 号 p. 94-99

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