プラズマエッチング装置の高周波バイアス電極におけるイオンエネルギー分布
2001 年 44 巻 9 号 p. 788-794
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2001 年 44 巻 9 号 p. 788-794
プラズマエッチング装置のRFバイアス電極に入射するイオンのエネルギーを正確に測定できるRF基準のIEAについて紹介した.QMSもRF基準とすることで各イオン種のIED測定を可能にし, それを用いてDC基準との違い, 圧力依存性, IEDにおけるピークの位置, イオン種による分布形状の違いを調べ, それらの結果が比較的簡単な計算モデルで定性的に説明できることを示した.IEDの他に, RFバイアス電極でのNEDやIADの測定についても紹介した.本稿で示したデータは測定装置の開発段階で得られたものである.RF基準のIEAがプラズマプロセスの研究に使用された例は現在までのところ極めて少ないが, 様々なプロセスの機構の解明に向けて今後の応用, 発展が期待される.
