Journal of the Vacuum Society of Japan
Online ISSN : 1882-4749
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ISSN-L : 1882-2398
技術メモ
外径70 mm のコンフラットフランジにマウントした簡易金属蒸着源の製作
田中 正人小玉 開平賀 健太所畑 成明高野 優作梁瀬 虹太朗菊地 貴司間瀬 一彦
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2016 年 59 巻 5 号 p. 138-140

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抄録
 We have constructed a simple metal evaporator mounted on a conflat flange with an outer diameter of 70 mm. It consists of a tungsten filament, an alumina tube, two molybdenum electrodes, tantalum foils, and electric feedthroughs. Evaporation rates are measured as a function of electric current. We used it to prepare an Au thin film and a Si (111)-√3 ×√3 R30°-Au surface.
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© 2016 一般社団法人日本真空学会
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