東洋大学工業技術研究所
2016 年 59 巻 7 号 p. 161-170
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プラズマを用いた微細加工や成膜などのプラズマプロセスにおけるプラズマの基礎的な事項（プラズマの性質と基礎量，プラズマ中の素過程，荷電粒子の消滅過程，イオンシースの形成と性質，主なプラズマの生成原理と基本的な特性および電子温度の制御法など）について解説した．
表面と真空
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