イントロダクトリートーク∼半導体製造の最前線∼

抄録

半導体産業は、微細化及び大径化によるデバイス価格低減によって、継続して高い経済成長を実現してきた。微細化の進展はやや減速しているが、更なる成長・発展へ向け、多方面で研究・開発が取り組まれている。本シンポジウムでは、半導体及びその関連産業の更なる発展を支える微細加工と計測技術に関し、各分野の著名な研究者からの講演を企画した。半導体製造の今後の研究動向や目指すべき方向など、活発な議論を期待する。