環境セルを用いたin-situ固液界面XPS

抄録

XPSはさまざまな材料・技術を利用して、固液界面の計測にも活用されている。近年、我々はシリコン系材料の超薄膜を用いて、真空中において溶液を保持することが可能な環境セルを構築した。薄膜にX線を照射すると、溶液あるいは溶液と薄膜の界面で発生する光電子を、薄膜を透かして、真空中で検出することが可能である。本講演では、放射光あるいは実験室装置を利用したその場XPS測定についていくつかの実証例を紹介する。