Cu₂O/TiO₂薄膜における酸化銅薄膜構造と光起電力の関係

抄録

反応性マグネトロンスパッタリング法によりp型半導体にCu₂O、n型半導体にTiO₂を用いた固体色素増感太陽電池を作製したところ、Cu₂O成膜時の酸素流量による変換効率への影響が確認された。そのため，Cu₂O作製時の酸素流量について最適化を試みたところ8.5sccmのとき、変換効率は最大値である0.00254%となった。本研究では、膜構造の変化による光起電力の向上について検討した。