デュアルカソード大電力パルススパッタ装置におけるプラズマ電位制御

抄録

我々はこれまで単独のスパッタカソードを用いた大電力パルススパッタ装置に第三電極を追加し、プラズマ電位を上昇させて、プラズマ空間のイオンを設置基板に向けて加速することで、緻密な構造を持つ金属膜が得られることを示してきた。今回は、デュアルカソード構成で、各カソードのパルスのタイミングをずらし、パルス間欠期のカソードをプラズマ電位制御用電極として用いる装置を開発した。放電の基礎特性について報告する。