FM-AFM/TEM同時測定による Auナノ接点の力学・構造評価

抄録

周波数変調原子間力顕微鏡法（FM-AFM）を応用した弾性（等価ばね定数）測定と透過型電子顕微鏡法（TEM）による幾何学観察を複合した手法によるナノ構造の力学的評価を行っている。実験的に金ナノ接点の構造、等価バネ定数、コンダクタンスの間には相関があることを見出した。金ナノ接点が細くなるとともに変化する等価バネ定数から、等価的なヤング率を試算した。講演では結晶方位や寸法に対する依存性について議論する。