ガスバリアフィルムのガス透過性の計測

抄録

有機ELデバイス（OLED）の実用化には、10^-6gm^-2day^-1レベルの水蒸気透過率（WVTR）の高バリアフィルムが必要。高ガスバリア性を評価するための様々な手法が提案されてきたが、検出限界が10^-6gm^-2 day^-1以下のWVTR測定法はこれまで開発されていない。超高真空技術の応用により、10^-6gm^-2day^-1以下まで測定できる装置を開発した。