有機ナノ薄膜のせん断挙動に関する分子シミュレーション

抄録

微細加工技術のひとつとしてナノインプリント法が広く用いられている中で,アライメントや有機材料の充填，離型時のモールド-有機材料界面の摩擦特性などのナノトライボロジー現象に関する経験的予測が難しくなっている。本研究では，ナノトライボロジー現象に起因する課題の解決のための端緒として，原子一つ一つにかかる応力がわかる原子応力分布解析を行い，せん断応力が異なってくる原因について原子レベルでの考察を行った．