実験室系硬X線光電子分光法の展開

抄録

デバイス性能を決定づける埋もれた界面の評価手法として、従来の光電子分光法よりも高いエネルギーのX線を使用した硬X線光電子分光法(HAXPES)が注目されている。特に近年、実験室ベースのLab. HAXPESが開発され広く利用されつつある。励起光源に液体GaKaを使用し、安定した高強度を確保している。本発表では、Lab. HAXPESを用いた実測測定事例今後の展望について述べる。