XPSデータセットにおけるピーク分離および解析の現状とその課題

抄録

NIMS-DPFCのRDEデータセットに登録されている、GaN初期酸化過程のように、データセット多数XPSスペクトルの解析について、スペクトル群をデータセット化し、データセットに対して自動解析を試みた。スペクトル解析には、BIC解析法をはじめ、主成分分析かターゲット変換を行う2種類の方法を試みている。これら解析結果からGaN、各面、各ガス種による酸化傾向について報告する。