日本表面真空学会学術講演会要旨集
Online ISSN : 2434-8589
2021年日本表面真空学会学術講演会
セッションID: 1Ep12S
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2021年11月3日
シートガスを用いたビーム誘起蛍光に基づくビームプロファイルの非破壊診断
*山田 逸平和田 元神谷 潤一郎金正 倫計
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抄録

ビームガス相互作用に基づく非破壊型のビーム断面形状を測定するモニタの開発を行っている.このモニタはシート状に形成したガスをビームライン上に導入し,ビームとの相互作用で生じる蛍光からビームプロファイルの情報を得るものである.このモニタで得られる信号はシートガスの密度分布に依存するため,ガス密度分布を測定して校正する必要がある.本講演ではガス密度分布測定手法とその結果を用いた校正手法について紹介する.

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© 2021 日本表面真空学会学術講演会
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