金ナノ粒子プラズモンによるシリコンの低ダメージラジカル酸化

抄録

金ナノ粒子のプラズモンが近年注目されている。我々は金ナノ粒子のプラズモンを応用し、イオン衝撃によるプラズマ照射表面へのダメージの低減と良質な極薄膜形成への活用を図ってきた。今回は、シリコンの室温でのラジカル酸化に対する効果を調べた。