日本表面真空学会学術講演会要旨集
Online ISSN : 2434-8589
2021年日本表面真空学会学術講演会
セッションID: 2P11
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2021年11月4日
原子分解能ホログラフィー顕微鏡の開発(II)
*大門 寛桃野 浩樹松田 博之Lảszlὁ Tὁth益田 有森口 幸一小粥 啓子竹内 走一郎橋本 由介松下 智裕
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抄録

高いエネルギー分解能を持つ二次元分析器CoDELMAと走査電子顕微鏡とを組み合わせて「原子分解能ホログラフィー顕微鏡」を開発している。ナノ領域を走査電子顕微鏡で確認して、そのナノ領域の中の孤立原子の周りの原子配列構造をホログラフィーで直視する。CoDELMAは、±50°という広い角度に渡る高エネルギー分解能のホログラムを一度に蛍光板上に表示できる。講演では最近のデータについて発表する。

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© 2021 日本表面真空学会学術講演会
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