表面構造マクロ分析手法としての電子トラップ密度エネルギー分布解析

抄録

分析手法をミクロとマクロに分類すれば，固体表面の分析手法のほとんどがミクロであり，XPSのような組成分析をのぞくと，マクロ分析は，ゼータ電位や電極のインピーダンス解析，昇温脱離など，間接的でかつ分析対象が限定的なものしかない．ここでは，表面マクロ分析となる可能性がある金属酸化物などの電子トラップ密度エネルギー分布解析とそれを計測するために新規に開発した逆二重励起光音響分光法について述べる．