気体とマイクロ波 : マイクロ波プラズマ(マイクロ波化学入門(その10))

抄録

この章ではマイクロ波電界中で気体がプラズマとなって発光する現象を述べます。マイクロ波プラズマはマイクロ波の不思議を感じさせる現象ですが,発光は高温状態で見られるものですから,実験的には危険を伴うことがあります。ここではマイクロ波によるプラズマの発生条件を理解することに主眼をおきます。