線形加速器搭載の電子顕微鏡500 kV Linac TEMの開発

永谷 幸則; 新井 善博; 三宮 工; 白井 忠雄; 相原 龍三; 飯島 義市; 永山 國昭

doi:10.11410/kenbikyo.50.3_160

抄録

本開発は，透過電子顕微鏡（TEM）にマイクロ波を用いて電子を加速する線形加速器の技術を導入し，従来の直流加速方式よりも小型でコストを抑えた高加速のTEMの実現を目指すものである．線形加速器はマイクロ波の共振空洞内に生じる強い振動電場を用いて電子を加速するため，そのままではエネルギー分散は大きくなり過ぎ，電子顕微鏡に用いる事はできない．本稿では，それを解決するRFチョッパなどの技術について報告する．

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