顕微鏡
Online ISSN : 2434-2386
Print ISSN : 1349-0958
講座
SEMとSTEMの分解能理論
佐藤 貢
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キーワード: STEM, SEM, 情報量, 分解能, 最適条件
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2018 年 53 巻 3 号 p. 127-133

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抄録

走査透過電子顕微鏡(STEM)において,1982年にCreweとSalzmanが示したSTEMの分解能と最適ビーム開き角の式が知られている.このビーム開き角は,光学像の統計的平均情報量が最大となる光学条件から導かれる.本稿では,Shannonの情報理論から光学像の統計的平均情報量が導かれる過程,および球面収差を伴う光学系の最適ビーム開き角が導かれる過程を示す.また,光学像(SEM像,STEM像)の情報量から分解能を定義し,球面収差,色収差,電子源輝度を考慮した電子光学系(SEM,STEM)の分解能計算法を説明する.

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© 2018 公益社団法人 日本顕微鏡学会
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