国立研究開発法人産業技術総合研究所 計量標準総合センター 物質計測標準研究部門
2022 年 57 巻 1 号 p. 23-30
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本稿では走査電子顕微鏡法（SEM）において重要な性能指標の一つである分解能について解説する．前半ではSEMで用いられる主な分解能の定義と評価法について概説する．また，像分解能の国際標準化において開発された像シャープネス評価についても言及する．後半ではSEMの像分解能評価における試料の重要性について述べ，産業技術総合研究所計量標準総合センターで供給している像シャープネス評価用認証標準物質を紹介する．
電子顕微鏡
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