日本エフイー・アイ株式会社
2023 年 58 巻 1 号 p. 43-46
(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)
(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)
μAオーダーの照射電流をもつプラズマFIBによって数百μm範囲の電池材料の加工が可能となった．さらにTOF-SIMSが搭載された装置も出現しFIB加工断面からEDSでは検出困難なリチウムといった軽元素のマッピングデータ収集ができるなど解析の幅が広がっている．照射イオン種を切り替え可能なモデルも存在し，材料に応じてプラズマ源を切り替え可能である．本原稿ではプラズマFIBの特長と電池材料への適用例を紹介する．
電子顕微鏡
すでにアカウントをお持ちの場合 サインインはこちら
