(株)東レリサーチセンター
1994 年 43 巻 2 号 p. 90-93,97
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二次イオン質量分析法(SIMS)の分野で特にポリマー材料への応用が期待されている飛行時間型(Time of Flight) SIMS(TOF・SIMS)について原理,装置,分析能力,応用例について述べ,そのポテンシャルについて展望した.
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