Annealing Ambient Influence on Holding Time Characteristics of <sup>75</sup>As<sup>+</sup>-Implanted MOSFET's

電気化学および工業物理化学

Online ISSN : 2434-2556
Print ISSN : 0366-9297

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Annealing Ambient Influence on Holding Time Characteristics of ⁷⁵As⁺-Implanted MOSFET's

Tsuyoshi GOTOH, Kunio NAKAMURA, Masao NOJIRI, Mototaka KAMOSHIDA

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1979 年 47 巻 6 号 p. 377-379

DOI https://doi.org/10.5796/kogyobutsurikagaku.47.377

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© 1979 The Electrochemical Society of Japan

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