一般論文
有機 EL ディスプレイ用低温硬化ポジ型感光性ポリイミドの開発
2011 年 68 巻 4 号 p. 160-170
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2011 年 68 巻 4 号 p. 160-170
有機 EL ディスプレイパネルの絶縁層に必要な六つの要求特性，(1)ポジ型感光性，(2)耐熱安定性(低アウトガス)，(3)250℃ 以下での低温キュア，(4)低テーパー形状，(5)高絶縁性，(6)基板との良好な密着性に加え，同パネルの平坦化層に必要な要求特性である(7)レジスト剥離液耐性を満足できる材料の開発を行った．ポリイミド前駆体ポリマー，ナフトキノンジアジド感光剤，およびキュア温度 250℃ 以下において有効に作用する架橋剤からなる組成を設計し，上記七つの特性を満足しうるに至った．とくにレジスト剥離液耐性については，架橋剤の添加量を最適化することで膜厚寸法変化を抑制することが可能となった．また架橋剤を有するポジ型ポリイミドの 250℃ キュア膜の 5%重量減少温度は 383℃ に達した．
