抄録
最近, 寸法が1mm以下のいわゆるマイクロ部品の製作に関する研究が注目を集めている. 本研究では, 紫外線が照射されると, 照射された部分が重合反応を起こして液体から固体へと硬化する紫外線感光性樹脂を利用して, 高いアスペクト比 (高さ/幅) をもっマイクロ部品や3次元構造のマイクロ部品を簡便に製作することを目的としている. 本研究で用いた手法はマスクパターンを通して紫外光を液体の樹脂に照射してマスクパターンの形状に樹脂を硬化させる転写法と細いビームで液体樹脂の表面上を所望の経路に沿って描画を行うことによって所望の形状に樹脂を硬化させる描画法である. 本研究ではまず最初にこれらの方法によって得られる樹脂硬化形状とその精度を光の回折と吸収の理論により計算し, 高アスペクト比の形状と3次元形状のマイクロ部品を製作するために適した条件を検討した. 次に計算によって得られた樹脂硬化形状を実験によって確かめた. 最後にこれらの検討結果を基にして実際に高アスペクト比のマイクロ部品と3次元構造のマイクロ部品を製作した.
