大阪大学 レーザーエネルギー学研究センター（ 〒565-0871 大阪府吹田市山田丘2-6）
（株）ファナック(〒401-0597 山梨県南都留郡忍野村忍草字古馬場3580）
2009 年 37 巻 7 号 p. 494-499
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Interfering ultrafast laser processing was applied to induce nano-sized laser ablation and liquidly process,
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