レーザー研究
Online ISSN : 1349-6603
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レーザー解説
超短パルスレーザーを用いた非熱ナノ加工
中田 芳樹
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2015 年 43 巻 11 号 p. 731-

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抄録
Ultrashort pulse laser has been applied to material processing which enable us to process materials with nanometer resolution and without thermal detriment. The number of papers related to this method is increasing year by year. In this paper, recent applications such as multi- photon processing, liquid immersion processing, near-field processing, self-organization process, parallel processing by SLM (spatial light modulator), non-thermal processing applied to bio materials will be introduced.
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© 2015 一般社団法人 レーザー学会
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