多層膜軟X線ミラー小史I
70年代の発見から80年代の発展状況について
1997 年 25 巻 5 号 p. 339-347
詳細
1997 年 25 巻 5 号 p. 339-347
The history of multilayer mirrors for soft x-ray optics is briefly reviewed. This introduces the history of fabrication techniques, evaluation technique, improvement of multilayer performance, applications and x-ray optical devices in the first and second stage (1970-1990) of “modern multilayer era”.
