スクラッチングによるシリコン結晶のアモルファス化

日本金属学会会報

Online ISSN : 1884-5835
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スクラッチングによるシリコン結晶のアモルファス化

簑和恭子, 角野浩二

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ジャーナルフリー

1992 年 31 巻 12 号 p. 1079-1080

DOI https://doi.org/10.2320/materia1962.31.1079

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