マイクロメカトロニクス
Online ISSN : 2432-0358
Print ISSN : 1343-8565
ISSN-L : 1343-8565
微小位置決め用変位拡大てこ付き一体型XYZテーブルの開発
吉村 靖夫Koh Yee Yong上 喜裕高橋 一
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2001 年 45 巻 2 号 p. 63-74

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抄録
Tables such as what we call X, XY and XYZ-table play an important role of fine positioning for equipments like optical microscope, three, dimensional measuring machine, semiconductor-producing machine and so on. This paper states mainly on the design of the one-piece XYZ table with levers for magnifying input displacements, and states the performances, that is, interferential ratios among three axes and magnifying efficiency.
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© 2001 一般社団法人 日本時計学会
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