窒化アルミニウムのレーザーマイクロ溝加工に及ぼすレーザー波長の影響

抄録

窒化アルミニウムはシリコンと同等で熱膨張率が低く,絶縁性,放熱性も高いため,半導体回路基盤の材料として注目されている.また,近年では製品の小型化のために,微細加工が重要となっている.レーザーによる微細溝加工における重要なパラメータとしては,波長,エネルギー密度,単位長さあたりの照射パルス数,溝加工を行う送り運動の速さなどがあげられる.そこで,本研究では,上記のパラメータと,溝幅,溝深さ,アスペクト比の関係性の実験的検討を行なった.