マイクロ気固界面による気体選択的透過制御デバイスの開発 PDMS表面加工性状による透過性変化の評価

酒井 啓太; 三島 耕治; 一柳 満久; 柿沼 康弘; 佐藤 洋平; 菱田 公一

doi:10.11368/nhts.2010.0.253.0

第47回日本伝熱シンポジウム

セッションID: J224

DOI https://doi.org/10.11368/nhts.2010.0.253.0

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主催: 社団法人日本伝熱学会

J22 マイクロ伝熱４

マイクロ気固界面による気体選択的透過制御デバイスの開発

PDMS表面加工性状による透過性変化の評価

*酒井啓太, 三島耕治, 一柳満久, 柿沼康弘, 佐藤洋平, 菱田公一

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抄録

加工面性状の異なるPDMS薄膜を介した気相・液相間での気体透過性変化を明らかにするために，表面加工粗さと透過性変化の定量的評価を行った．PDMSを液体窒素中で硬化させて切削加工する極低温マイクロマシニングにより，異なる表面粗さを持つPDMS薄膜を製作した．さらに，マイクロスケール速度およびpH分布同時計測手法によるCO2透過過程における液相速度とCO2濃度分布の同時計測を行い，壁面粗さによる気体透過性の変化を物質移動方程式に基づく拡散および対流流束から評価を行った．

責任著者(Corresponding author)

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