窒化アルミニウムのレーザーマイクロ溝加工に及ぼす波長・パルス幅の影響

抄録

窒化アルミニウムは脆性材料であり硬くてもろい性質のため，既存の機械加工では欠けや割れの発生などの問題点が存在する．一方，レーザー加工は非接触加工であることから機械加工での問題点を低減することが可能であり，また他の非接触加工である電子ビーム加工などと比べて，大気中で加工することができるため，被加工物の大きさが制限されないなどの利点がある. 本研究では，レーザー光の波長・パルス幅が窒化アルミニウムが加工ダメージ・溝幅・溝深さ・アスペクト比に及ぼす影響を検討した．