側鎖にニトロアリール基を有ずる高分子の感光性樹脂への応用

抄録

DMFなどの非プロトン性極性溶媒中またはベンゼンやトルエンのような極性の低い溶媒中, 相問移動触媒を用いて, ポリ [(クロロメチル) スチレン] およびポリ (2-クロロエチル=ビニル=エーテル) の側鎖のクロロアルキル基とカリウム4-ニトロフェノラート, カリウム4-ニトロ-1-ナフトラートなどの置換反応により, 側鎖にニトロアリール基質を有するポリマーを合成した。これらのポリマーは光照射により橋かけ不溶化することから, 新しいネガ型感光性樹脂になることを見いだした。さらに, これらポリマーの相対感度の測定やUV照射後のIR, UV, ¹H-NMRスペクトルの測定を行ない, ポリマー中のニトロアリール基の含有率と感度の関係, その橋かけ機構について検討した。