シリコンへの燐拡散における過剰空格子点の発生

応用物理

Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009

シリコンへの燐拡散における過剰空格子点の発生

松本智, 新美達也

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ジャーナルフリー

1977 年 46 巻 5 号 p. 546-549

DOI https://doi.org/10.11470/oubutsu1932.46.546

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