引上げシリコン結晶の熱誘起微小欠陥に対する炭素の影響

応用物理

Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009

引上げシリコン結晶の熱誘起微小欠陥に対する炭素の影響

岸野正剛, 松下嘉明, 金森克, 飯塚隆

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ジャーナルフリー

1980 年 49 巻 1 号 p. 90-96

DOI https://doi.org/10.11470/oubutsu1932.49.90

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