私の見いだした電子ビームドーピング

異常スパッタリング,異常室温拡散

抄録

筆者の見いだした高エネルギー電子ビームによる不純物ドーピングにっいて原理,実験結果,およびこれからの展望について概説する.それはいとも単純に基板の上に不純物シートを置くだけで,その上から電子ビームを照射する方法である.それは照射損傷を応用しようとするユニークな発想である.その機構に関連して,異常スパッタリング,室温での異常拡散についても触れる.