電子線ホログラフィーを利用した極限的計測—電子線位相計測法—

抄録

干渉性のよい電界放射電子線の実用化により,電子線の位相の観測が格段に容易になった.とりわけ,電子線ホログラフィー手法を使って得られる位網差増幅した干渉顕微鏡像によって,ミクロな電磁場分布や厚さ分布が高感度で直接観察できるようになった.こうした電子線の位相計測法の最近のめざましい進歩を紹介すると同時に,今後の展望を行なう.