蒸気圧の測定とCVD反応の解析への応用
1986 年 55 巻 11 号 p. 1051-1058
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1986 年 55 巻 11 号 p. 1051-1058
蒸気圧を測定する方法はいくつかあるが, CADなど結晶成長に最も関係がある0.133～101.3kPaの範囲の圧力を測定するのに適したプルドン型蒸気圧測定装置と,その応用について述べる-この装置の特色は,CVD法における液相,固相の原料をキャリアガスで反応系に運ぶ際に問題となる,原料物質の飽和蒸気圧ばかりでなく,種々の反応による圧力変化を連続的に測定でき,その反応に関する熱力学的知見が得られる.ここでは,いくつかのハロゲン化物を例にとって,それらの気相における振る舞いと,反応についての解析例を述べる.
