(株)東芝総合研究所
1988 年 57 巻 1 号 p. 40-44
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最近, GaAs単結晶の組成を高精度に評価できる手法が,いくつか提案されている.なかでも,化学的な手法であるクーロメトリーは,組成を直接測定できるので,比較的正確な結果が得られる可能性があり,注目されている.本稿では,クーロメトリーの原理,装置,化学前処理,応用について述べる.
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