抄録
光を応用したセンシング技術は,電磁的に非干渉,非接触,高感度,大容量計測が容易などの優れた特徴をもつ計測技術として,現代の科学技術において不可欠な存在になっている.特に近年,半導体レーザー,光ファイバー,高機能光検出器などの登場によって光波センシング技術が一段と広がりと深まりを見せ,光計測技術の体系が形成されつつある.本稿では,光波センシング技術の要素技術を光の応用形態によって,干渉,ホログラフィー,スペックル,偏光,光ファイバ,光ビーム,分光,画像,光エネルギーの9つの方式に分類し,それぞれについて,計測対象,計測原理,方式,特徴,応用例を平易に述べる.
