応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
表面計測技術
青野 正和
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1992 年 61 巻 4 号 p. 322-325

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抄録

表面計測技術における最近の発展とブレークスルーにっいて述べる.遠隔法から近接法への発想の転換,各種プローブビームを量的に改善したことによる質的変化,装置あるいは測定条件の幾何学的工夫,動的変化の追跡のための新手法の開発などによっていくつかのブレークスルーがもたらされた.最近可能になりつつある原子の操作についても述べる.

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© 社団法人 応用物理学会
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