応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
純オゾン源によるMBE法
野中 秀彦, 細川 俊介, 酒井 滋樹, 一村 信吾
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1992 年 61 巻 5 号 p. 512-513

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