応用物理
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大気圧Heイオン収量X線吸収微細構造法 (XAFS) による薄膜試料の分析
柳瀬 悦也嵩 良徳崎山 雅行東海 正國渡辺 巌原田 誠高橋 昌男
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1996 年 65 巻 12 号 p. 1267-1270

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抄録

大気圧He中で試料にX線を照射ずると, X線吸収漿に比例した数のオージェ電子が試料表面から放出され, He原子をイオン化する.このHe+イオンを検出ずることにより薄膜試料のX線吸収スペクトルを高感度で測定することが可能となる.本稿ではこの薄膜の構造解析に適した大気圧Heイオ ン収量XAFS分析法とその適用例について紹介する.

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© 社団法人 応用物理学会
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